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螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转,每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环,现在以其中一对齿来说明。

吸气过程

阳转子按逆时针方向旋转,阴螺杆按顺时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。

压缩过程

转子端面是排气端面。在这里,阳转子沿顺时针方向旋转,阴转子沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。


无油螺杆真空泵制造厂家




无油螺杆节能真空泵的排气过程,齿间容积与排气孔口连通后,即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小,具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。无油螺杆真空泵制造厂家



螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产plasma的cvd制程。


螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转-,-。

操作维护方便。





 干式真空泵工作时,相互之间无摩擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构,与等螺距结构相比,-真空更高,而消耗功率-,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。

     泵两边的备品备件是标准的o型圈。从上至下的输送方式能-地处理夹带液体的湿气及粉尘,并且无需过滤器。化的螺杆外形设计使功率消耗降到,简单的设计可使泵腔在1小时内在现场全部解体,易于清洗维护。




。螺杆的各级间可形成压力梯度,以分散压差和提高压缩比,各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时,要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境等。干式螺杆真空泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。无油螺杆真空泵制造厂家

干式螺杆真空泵的优点        

干式螺杆真空泵在工作时,相互之间无磨擦,运转相对平稳,噪音比较低,工作腔不需润滑油,因此,干式螺杆真空泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,-真空度更高,消耗功率比较低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的升级版产品。无油螺杆真空泵制造厂家





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